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真空度测试仪的特征

日期:2021-09-26 11:07
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摘要:
真空度测试仪的特征

真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我企业专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料
一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我企业开创了
基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

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